一、前言
　　
　　當前，高速發(fā)展的信息工業(yè)對集成電路器件集成度的要求越來越高，這促使了人們不斷探索能夠突破器件尺寸極限的途徑。隨著對亞微米、深亞微米和微電子機械系統(tǒng) (MEMS)的深入研究，納米電子學(xué)和納米光電子學(xué)應(yīng)運而生，納米量子器件也隨之產(chǎn)生。納米量子器件可簡單地分為納米電子器件和納米光電子器件。納米電子 器件包括共振隧穿器件(RTD)、量子點(QD)器件和單電子器件(單電子晶體管和單電子存儲器)等；納米光電子器件則主要包括基于應(yīng)變自組裝的納米激光 器(如量子點、量子線、量子阱激光器)、量子點紅外光電探側(cè)器、納米級硅化鉑薄膜肖特基勢壘紅外光電探測器等[1、2]。
　　
二、納米光電子學(xué)
　　
　　光電子技術(shù)正向光電子集成和納米光電子集成方向發(fā)展，其與納米電子技術(shù)相結(jié)合，便產(chǎn)生了納米光電子技術(shù)。而光學(xué)、光電子學(xué)、納米光學(xué)與納米電子學(xué)相結(jié)合，則 產(chǎn)生了一門嶄新的學(xué)科—納米光電子學(xué)。納米光電子學(xué)是研究納米結(jié)構(gòu)中電子與光子的相互作用及其器件的一門高技術(shù)學(xué)科，它是在納米半導(dǎo)體材料的基礎(chǔ)上發(fā)展起 來的，代表了納米電子學(xué)今后的發(fā)展方向，是納米光電子器件的基礎(chǔ)。并且，它還將成為納米光通信技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。
　　
　　納米電子學(xué)的遵循的發(fā)展過程是電子學(xué)→納米技術(shù)→納米光電子學(xué)→納米電子技術(shù)→納米電子工程，而納米光電子學(xué)的發(fā)展模式則是光學(xué)→光電子學(xué)→納米光學(xué)→納米電子學(xué)→納米光電子學(xué)→納米光電子技術(shù)→納米光電子工程。